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장비 및 시설 기본정보
건식식각기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Oxford |
| 모델명 | Plasmalab system133 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주나노기술집적센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 기타장비 |
| 시설장비 설명 | 광소자 및 MEMS sensor 제작시 고종횡비의 구조물을 얻을수 있음 Fast Etch Rate, High Selectivity, Low Ion Demage의 구현 할수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/eX4W4pNo5ISUosyFRZUV_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 호남권지역본부 |
| NFEC 등록번호 | |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-kitech_ncne-00041 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |