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장비 및 시설 기본정보
세정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 씨앤에스엔지니어링 |
| 모델명 | CSWS-6 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 영남대학교 대경태양전지지역혁신센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 생산·공정장비 |
| 시설장비 설명 | 박도체 박막 제조용 기판의 세정 및 식각부산물의 세정을 위해 유기용제 및 산염기 용액을 공급/배출함. SC-1(RCA) Bath, Quick Dump Rinse Bath, Work Table |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/TmJm5M6cV2tTMuu8OJOX_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 대경태양전지RIC CRC401호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-178387 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YURIC-00027 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |