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장비 및 시설 기본정보
MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Vg Scienta |
| 모델명 | V80H-MK II |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1991-08-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C505 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 구성및성능 초고진공 성장실 : 5X10-10 TORR 초고진공 시료출입실 : 5X10X8 TORR 활용분야 고진공챔버내에서의 성장으로 고순도화 가능 에피층성장과정 직접 관측가능 (RHEED, QMS 이용 ) |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200702/200702067463.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2000-08-039220 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0050078?cloudId=200702080220 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |