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박막코팅시스템

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보유기관명	광주테크노파크
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C209
표준분류명
시설장비 설명	타이타늄 특수합금관련 표면코팅기술개발ㆍSubstrate Assy part : 6(rotation speed : 2~60rpm) ㆍPC제어방식 ㆍSputter gun part : 4(2set) → Target size - 4“x1/4 Magnet - Nd-Fe-B Tilting Angle - 30° ㆍPumping system : Turbo pump(800ℓ/sec) ㆍMFC : MKS Ar N2 등 ㆍDC power supply : 1kW RF power supply : YS 600W ㆍ Ion gun ㆍ Sputter(AIP) ㆍ Chember 가스공급장치(MFC) - Ar N2 등 ㆍControl box ㆍ진공배기 : Turbo + Mechanical Pump타이타늄ㆍ특수합금관련 표면코팅기술개발 Sputter 코팅 공정개발 의료용 부품 경질 및 항균코팅공정개발 기능성 코팅 공정기술개발 코팅 응용제품개발에 따른 고부가가치 제품개발 활성화
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/201309161338125.JPG
장비위치주소	광주 북구 대촌동 광주테크노파크 958-3 (재)광주테크노파크 생산동 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2007-10-009210
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0001862
첨부파일

기업조회