표면저항측정기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Advanced Instrument Technology |
모델명 | A.I.T CMT-SR1000N |
장비사양 | |
취득일자 | 2005-10-27 |
취득금액 |
보유기관명 | 경성대학교 공동기기센터 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | D100 |
표준분류명 | 기타장비 |
시설장비 설명 | Wafer 표면에 성장, 확산 및 Deposition된 층의 비저항 및 면저항을 측정함. 불순물의 농도를 측정하기 위하여 4개의 탐침을 이용하여 2개의 탐침에 전류를 흘리고 다른 2개의 탐침의 전압 강하를 측정하여 비저항 또는 면저항으로 계산함. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/Oqc1LnfG7vAN7SQgvOsr_w600.jpg |
장비위치주소 | 경성대학교 공동기기센터 |
NFEC 등록번호 | |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-ks_CIA-00012 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |