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주사전자현미경

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보유기관명	단국대학교공동기기센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명	물리·재료장비
시설장비 설명	FE-SEM은 시료표면에 전기장이 걸린 전자 총을 사용하여 만든 beam을 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석을 행하는 장치로 0.5 ~ 30 kV의 낮은 가속 전압으로 고화질의 이미지를 sample charging과 damage를 최소화시키면서 얻을 수 있음. 장비의 특징 Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS)를 이용한 시료의 성분분석으로 성분의 Weight * Atomic를 얻을 수 있으며 Cathodoluminesence(CL)를 이용하여 전자에 의한 시료의 빛 에너지방출을 각 시료의 특정 파장 대역에서 이미지로 확인할 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/yoXYZ7S4w4hMbn6yPxQs_w600.jpg
장비위치주소	단국대학교 자연과학관 B109호 공동기기센터
NFEC 등록번호
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-DKU-00002
첨부파일

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