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장비 및 시설 기본정보
진공증착기 업그레이드
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)선익시스템 |
| 모델명 | SUNICEL Plus100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-08-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험·검사장비 |
| 시설장비 설명 | 플라즈마장치는 진공 상태에서 Ar(아르곤) or N2(질소)Gas등을 투입하고 전기방전을 이용하여 플라즈마를 발생시키는 표면처리 장치임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/5ig96sfVpW3oqzyh4sV0_w600.gif |
| 장비위치주소 | 천안 본원 충청권지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-069250 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-kitech-00013 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |