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장비 및 시설 기본정보
광학식 3차원 표면형상측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | ContourGT-K |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-10-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 구미전자정보기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A201 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 3D 광학필름 및 렌즈 등의 표면거칠기 및 곡률 정밀도 분석 Phase shift 이용한 정밀 표면 측정과 광학 측정 Focusing 원리를 이용한 표면 형상 측정 간섭계 원리를 이용한 표면 profile1. Sample stage : 150mm 2. Tilt angle : ±6° tilting 3. Resolution : 0.1nm ~ 10mm 4. Max. Scan Speed : 28.1㎛/s3D 광학 Film과 같은 부품소재의 표면 거칠기 및 공정 정밀도를 자동으로 평가할 수 있음. 3D Lens 설계시에 곡률의 정밀도 평가 추후 액정 제어를 위한 반도체 공정의 정밀도 확인 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/2014103116595810.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 구미시 신평동 188번지(구미대로 350-27) 구미전자정보기술원 3D 디스플레이 부품소재 실용화지원센터 1층 104호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-11-192863 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045650 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |