초고진공레이저빔 증착시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | (주)한백테크 |
모델명 | 주문제작 |
장비사양 | |
취득일자 | 2004-07-02 |
취득금액 |
보유기관명 | 전남대학교 산학협력단 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | * 원리및 특징 화합물 반도체 에피박막을 성장시키는 장비이며 특히 성장과정의 모니터링이 가능하여 박막성장 기구의 유추가 가능한 장비 * 주요구성 및 성능 - Process chamber for UHV / 1 ea - Load-lock chamber / 1 ea - Pumping system for UHV / 1 set - Vacuum measurement unit / 2 set - Sample manipulator sample holder / 1 set - RHEED package with software / 1 set - Ozone generator and delivery unit / 1 set - Target carrousel and holder / 1 set - Bakeout unit / 1 set - PC / 1 set - System frame and control rack / 1 set* 사용예 LED/LD 소자관련 인력의 교육 및 관련 산업체의 박막제조기술 재교육에 활용 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125144317.jpg |
장비위치주소 | 광주 북구 용봉동 전남대학교 77 전남대학교 용봉캠퍼스 산학협력공학관 2층 205 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-054672 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008290 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |