| 보유기관명 |
동국대학교 |
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| 표준코드 |
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| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
본 SPM은 샘플과 팁의 상호 작용으로 물질의 표면특성을 원자단위까지 측정할 수 있는 원자 현미경이다. 광학현미경의 배율이 최고 수천 배 전자 현미경(SEM)의 배율이 최고 수십 만배인데 비해 본 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배로서 개개의 원자를 관찰할 수 있는 특징을 가진다.
투 과식 전자 현미경인 TEM도 수평방향의 분해능은 원자단위이나 수직 방향의 분해능은 훨씬 떨어져 개개의 원자를 관찰할 수는 없지만 본 원자현미경의 수직방향의 분해능은 수평 방향보다 더욱 좋아서 원자지름의 수십 분의 일(0.01nm)까지도 측정할 수 있는 특징을 가진다.본 SPM은 원자현미경 계열 중 처음으로 등장한 STM(Scanning Tunneling Microscope) 외에 부도체 시료의 측정을 가능케 한 AFM (Atomic Force Microscope) 물질의 형상이외에 다른 특성들을 측정할 수 있는 MFM(Magnetic Force Microscope) LFM(lateral Force Microscope) FMM(Force Modulation Microscope) EFM(Electrostatic Force Microscope) SCM(Scanning Capacitance Microscope) 그리고EC-SPM(Electrochemistry SPM)등에 사용 활수 있다. 이러한 원자현미경 외에도 별도의 장비를 장착하여 물질의 광학적 특성을 빛의 파장 보다 훨씬 작은 분해능(~50nm)으로 알아내 는 NSOM(Near-field Scanning Optical Microscope) 시료표면의 온도분포를 재는 SThM(Scanning Thermal Microscope) 등의 원자현미경으로 사용 할 수 있다.반도체 및 금속 등 고체시료의 표면 연구에 이용되고 있으며 특히 에피 성장 조건 및 성장후 처리에 다른 표면 morphology 연구에 많이 활용되고 있다. SPM의 응용분야 표면 물리학 반도체의 표면계측 분자생물학 전기화학 재료공학 기타 표면 분석 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013102814133863.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 중구 필동3가 동국대학교 26-1 동국대학교 다향관 2층 양자기능반도체연구센터 전자분광실(302-226 ) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2001-03-039884 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006327 |
| 첨부파일 |
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