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장비

섬유 용 열/플라즈마 처리 장비

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C527
표준분류명
시설장비 설명	진공 분위기에서 ICP 방식의 플라즈마 방전과 가열을 통해 PECVD 등의 공정이 수행가능하며, 추가적인 부품 제작/장착에 의해 섬유에 대한 열/플라즈마 처리가 가능한 섬유 용 열/플라즈마 처리 장비Rotary pump가 구비되어 있으며, 추후 Turbo molecular pump 추가 장착 가능, Matching box와 13.56 MHz Power supply 내재. 두 개의 진공 챔버와 연결되어 Loadlock chamber 방식의 샘플 로드 가능- 섬유의 강도를 향상시키기 위해, 플라즈마를 이용한 표면 처리로 강도를 향상 시키거나 섬유 사이 결합력을 향상시키기 위해 표면에 N, COOH 등 기능기 도입함. - Diamond like 박막 성장에 사용함
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/20141030132729366.JPG
장비위치주소	전북 완주군 봉동읍 은하리 산101번지 전북분원 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 3층 R1364
NFEC 등록번호	NFEC-2014-11-192904
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045677
첨부파일