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논문 기본정보
Distinctions of the growth and structural-spectroscopic investigations of thin AlN films grown on the GaAs substrates
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | Physica. B, Condensed matter |
| ISSN | 0921-4526, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | Seredin, P.V.,Kashkarov, V.M.,Arsentyev, I.N.,Bondarev, A.D.,Tarasov, I.S. |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2016-01-01 |
| 초록 | Using X-ray diffraction analysis, atomic force microscopy, IR and UV spectroscopy, the properties of thin aluminium nitride films ( |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=NART75723860 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | Aluminium nitride,Ion-plasma reactive sputtering,GaAs |