| 기업공감원스톱서비스

화학 기상 증착 시스템 및 공정에서 열적 균일성을 향상시키기 위한 공정별 웨이퍼 캐리어 보정

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
출원번호	10-2018-7007334
출원일자	2018-03-14
공개번호	20180328
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	화학 기상 증착(CVD) 시스템을 위한 웨이퍼 캐리어의 가열 균일도 개선은 CVD 시스템의 물리적 및 동작 특성에 따라 구축된 계산의 열적 모델에 기초하여 이루어질 수 있다. 가상 웨이퍼 캐리어의 적어도 하나의 관심 영역에서 열적 공간적 불균일성 세트를 생성하기 위해, 가상 CVD 시스템에서 발생하는 열전달을 포함하여, CVD 시스템에서 수행될 공정 레시피가 모델링되는 열적 모델의 동작이 시뮬레이팅 된다. 적어도 하나의 웨이퍼 유지 포켓의 각각의 포켓 플로어에 대해 행해지는 구조적 보정은 열적 공간적 불균일성의 세트 및 수정을 위한 적어도 하나의 디자인 룰을 정의하는 소정의 열-포켓 플로어 관계에 기초하여 결정됨으로써, 적어도 하나의 관심 영역 전체에 걸쳐 열적 균일도의 증대를 달성할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187007334
첨부파일

기업조회