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감소된 반사를 위한 표면 피쳐를 갖는 기판 지지부 및 그를 생산하기 위한 제조 기술들

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7005310
출원일자	2016-02-26
공개번호	20160414
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	프로세스 챔버에서 컴포넌트의 온도를 측정하기 위해 비-접촉 온도 감지 디바이스를 사용하는, 프로세스 챔버들에서의 열 신호 노이즈를 감소시키기 위한 방법들 및 장치가 제공된다.몇몇 실시예들에서, 프로세스 챔버에서 기판을 지지하기 위한 서셉터는, 기판 지지 표면을 포함하는 제 1 표면; 및 제 1 표면에 대향하는 제 2 표면을 포함하고, 제 2 표면의 부분은 입사(incident) 복사 에너지를 흡수하기 위한 피쳐(feature)를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167005310
첨부파일

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