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증착 공정에서 화학 전구체를 버블링시키기 위한 무에어로졸 베셀

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기관명	NDSL
출원인	버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨
출원번호	10-2019-7033084
출원일자	2019-11-07
공개번호	20191121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원에는 무에어로졸 베셀, 전달 컨테이너, 증착 공정을 위한 컨테이너의 전구체 활용 개선뿐만 아니라 컨테이너의 세척 및 재충전을 제공하기 위해 이를 사용하는 시스템 및 방법이 기술된다. 일부 전구체가 증기를 분해함에 따라 밸브 및 배관 막힘이 최소화된다. 본 발명은 미스트가 형성되는 것을 방지함으로써 에어로졸에 의한 막힘 또는 웨이퍼 오염을 방지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197033084
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