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레이저 가공장치 및 레이저 가공방법

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기관명	NDSL
출원인	스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0037920
출원일자	2015-03-19
공개번호	20151008
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	주파수가 변동해도, 레이저펄스의 양호, 불량을 적절히 판정하는 것이 가능한 레이저 가공장치를 제공한다. 빔주사기가, 펄스레이저빔을 가공 대상물에 입사시킴과 함께, 표면에 있어서의 입사위치를 이동시킨다. 광검출기가, 각 레이저펄스의 펄스에너지에 의존하는 물리량을 측정한다. 경로전환기가, 펄스레이저빔의 경로를, 가공 대상물에 입사하는 제1 경로와, 가공 대상물에 입사하지 않는 제2 경로와의 사이에서 전환한다. 제어장치가, 가공순서에 근거하여 피가공점의 위치에 펄스레이저빔이 입사하도록 빔주사기를 제어하면서, 펄스에너지에 의존하는 물리량을 측정하고, 물리량의 분포에 근거하여, 물리량의 허용범위를 결정한다. 가공 중에, 광검출기로 측정된 물리량이 허용범위에 들어가 있는 레이저펄스의 적어도 일부를, 제1 경로를 따라 전반시키고, 허용범위로부터 벗어나 있는 레이저펄스는, 제2 경로를 따라 전반시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150037920
첨부파일

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