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거친 환경에서의 TDLAS 측정 포트 장애 모니터링 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	졸로 테크놀러지스, 아이엔씨.
출원번호	10-2016-7018639
출원일자	2016-07-11
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	프로세스 챔버의 벽에 장착된 사이트 튜브(sight tube)의 장애를 모니터링 하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 사이트 튜브는 상기 사이트 튜브와 상기 TDLAS광학 헤드 사이의 윈도우와 함께 TDLAS 광학 헤드에 연동 동작한다. 상기 방법은 상기 TDLAS광학 헤드에 광센서를 제공하는 단계, 상기 광센서는 상기 프로세스 챔버안의 광 출력 프로세스에 의하여 출력되는 광을 수신하도록 배치된다. 상기 프로세스 챔버안의 광 출력 프로세스에 의하여 출력되며 상기 광센서에 의하여 수신되는 광으로부터 생성되는 출력 신호를 모니터링 한다. 상기 출력 신호의 감소 여부를 결정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018639
첨부파일

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