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성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 톡키 가부시키가이샤
출원번호	10-2023-0048096
출원일자	2023-04-12
공개번호	20230427
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 챔버에 대해 타겟 상의 스퍼터 입자가 발생하는 스퍼터링 영역이 이동하는 경우에, 스퍼터링 영역 주변의 압력을 적확하게 취득한다. [해결 수단] 성막 대상물(6) 및 타겟(2)이 내부에 배치되는 챔버(10)를 갖고, 타겟(2)으로부터 스퍼터 입자를 발생시키는 스퍼터링 영역(A1)을 챔버(10) 내에서 이동시키면서, 스퍼터 입자를 성막 대상물(6)에 퇴적시켜 성막하는 성막 장치(1)로서, 챔버(10) 내에 배치되고, 챔버(10) 내의 압력을 취득하는 복수의 압력 센서(7)를 갖고, 복수의 압력 센서(7)는, 스퍼터링 영역(A1)의 이동 방향을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020230048096
첨부파일

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