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피쳐 크기 제어를 위하여 가변성 초점면을 사용하는 전도성 필름 패터닝

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기관명	NDSL
출원인	엔라이트 포토닉스 코포레이션
출원번호	10-2015-7025812
출원일자	2015-09-18
공개번호	20151203
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	처리 시스템은 레이저 빔이 기판, 전도성 층 및 전도성 경계를 포함하는 복합체를 향하게 한다. 상기 레이저 빔의 초점의 위치는 상기 레이저 빔이 전도성 물질들의 표면들에 초점을 맞추도록 제어될 수 있다. 상기 레이저 빔은 레이저 빔 직경을 변화시키기 위하여 초점 조절 광학 시스템을 이동시킴으로써 상기 전도성 경계를 침습적으로 처리하고 상기 전도성 층을 비침습적으로 처리하는 데 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157025812
첨부파일

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