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레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시끼가이샤 도시바
출원번호	10-2015-0160151
출원일자	2015-11-16
공개번호	20160526
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 대기 중에 있어서 액체를 공급하면서 시공을 행할 때에 액체의 공급이 정지되었을 경우에, 레이저광이 대기 중에서 전송되어 시공 대상면에 도달하지 않는 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 피처리 부재의 표면에 액체를 공급하여, 액체를 개재해서 펄스 형상의 레이저광을 조사하여, 표면 처리를 행하는 레이저 가공 장치로서, 광학창을 통하여, 피처리 부재의 표면에 액체를 통과해서 레이저광을 조사하는 레이저 조사 기구와, 광학창의 외측 표면을 지나는 유로를 통하여 피처리 부재의 표면에 액체를 공급하는 액체 공급 기구를 구비하고, 광학창의 레이저광 출사면은, 광학창의 레이저광 출사면에 액체가 접하는 경우는 레이저를 투과하고, 광학창의 레이저광 출사면에 액체가 접하지 않는 경우는 레이저광을 반사하도록 구성되어 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150160151
첨부파일

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