| 초록 |
레이저 장치로부터의 레이저 빔을 이용하여 피가공물을 가공하는 방법으로서, 레이저 빔을 이용하여 피가공물을 가공하기 위해, 하나 또는 복수의 제어축을 이용하여 상기 피가공물과 레이저 장치의 상대 위치를 결정하고 상기 레이저 빔을 스트립 형상의 노출된 피가공물 표면 위로 전체 표면에 걸쳐 이동시켜 피가공물 재료를 증발 및/또는 연소시킴으로써 소정 정의에 따라서 상기 피가공물 재료를 제거하는 피가공물 가공 방법은, 상기 레이저 장치 내의 가변 광학 소자, 특히 조정 미러를 이용하여, 기계적 제어축의 동시적 이용 여부에 상관없이, 상기 레이저 빔을 상기 피가공물에 대해서 상기 피가공물 표면 위로 유도하여 상기 레이저 장치와 상기 피가공물 간의 상대 위치를 조정하는 제1 제거 단계; 및 바람직하게는 상기 레이저 빔을 가변 광학 소자를 이용하여 동시에 유도하지 않고, 기기의 하나 또는 복수의 제어축을 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 피가공물에 대해 상기 피가공물 표면 위로 유도하는 제2 제거 단계를 포함하고, 상기 레이저 빔의 초점 거리는 가변 광학 소자에 의해 가변적으로 조정될 수 있다. |
