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저머늄의 사이클 퇴적

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
출원번호	10-2016-7019345
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	일부 태양들에서, 사이클 퇴적 공정을 사용한 저머늄 박막의 형성 방법들이 제공된다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 저머늄 박막은 반응 챔버 내에서 기판 상에 형성되고, 상기 공정은 상기 기판을 기상 저머늄 전구체 및 질소 반응물과 교대로, 및 순차적으로 접촉시키는 단계의 하나 또는 그 이상의 퇴적 사이클들을 포함한다. 일부 실시예들에 있어서, 상기 공정은 요구되는 두께의 저머늄 박막이 형성되었을 때까지 반복된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019345
첨부파일

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