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불소 함유 규소 화합물, 그의 제조 방법, 및 불소 함유 규소 수지의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0006347
출원일자	2016-01-19
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 과제는 반도체 소자 제조 공정에 있어서의 미세 가공에 이용되는 규소 함유 중간막 형성용 조성물, 및 규소 함유 포토레지스트 조성물의 원료 등으로서 유용하고, 또한, 보존 안정성이 양호한 불소 함유 규소 화합물을 제공하는 것이다. 상기 과제의 해결 수단은 하기 화학식 (1)로 표시되는 불소 함유 규소 화합물이다. (식에서, R 1 은 각각 독립적으로 탄소수 1∼6의 탄화수소기이고, R 2 는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 탄소수 1∼6의 탄화수소기이다. n은 0≤n≤2를 만족하는 정수이다.)
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160006347
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