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티타늄 알루미늄 및 탄탈륨 알루미늄 박막들

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
출원번호	10-2015-0146874
출원일자	2015-10-21
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반응 공간 내의 기판 상에 질소를 포함하는 티타늄 알루미늄 또는 탄탈륨 알루미늄 박막들을 퇴적하는 방법은 적어도 하나의 퇴적 사이클을 포함할 수 있다. 상기 퇴적 사이클은 상기 기판을 기상의 티타늄 또는 탄탈륨 전구체 및 기상의 알루미늄 전구체와 교대로 그리고 연속적으로 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다. 상기 기상의 티타늄 또는 탄탈륨 전구체 및 기상의 알루미늄 전구체 중의 적어도 하나는 기상의 질소 전구체의 존재하에 상기 기판과 접촉할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150146874
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