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엑시머 램프 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼
출원번호	10-2016-7010174
출원일자	2016-04-19
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	내측 전극과 내관과의 열팽창 계수의 차에 기인하여 내관이 파손되는 것을 방지한 엑시머 램프를 제공한다.저통상(底筒狀)의 내관(50)과, 상기 내관(50)과의 사이에 밀폐된 방전 공간(60)을 형성하는 외관(40)을 가지고, 상기 방전 공간(60) 내에 방전 가스를 봉입한 유전체로 이루어진 발광관(20); 상기 발광관(20)의 외관(40)의 외주면 측에 배치된 외측 전극(30); 및 상기 내관(50) 내에 삽입 배치된 내측 전극(31);을 구비한 엑시머 램프(10)에 있어서, 상기 내관(50)의 내주면과 내측 전극(31)의 외주면과의 사이에, 유전체 배리어 방전에 의해 상기 내측 전극(31)이 열팽창 했을 때, 상기 내측 전극(31)이 내관(50)에 응력을 미치는 것을 억제하고, 또한, 상기 방전 공간(60)의 크기와 방전 전압의 크기를 감안하여 상기 방전 공간(60)에서의 유전체 배리어 방전을 확보하는 단면적의 완충 공간(70)을 형성한 엑시머 램프(10).
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010174
첨부파일

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