진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치, 진공 펌프, 및 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조하기 위한 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하 |
출원번호 | 10-2016-7012289 |
출원일자 | 2016-05-10 |
공개번호 | 20160714 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 진공 영역(18)을 대기압하에 있는 영역(20)으로부터 분리시키는 분리 벽(16) 내에, 핀(24)이 전류 관통부로서 제공된다.핀(24)은 예를 들어 유리(26) 내에 캐스팅된다.본 발명에 따르면, 특히 허용 오차 때문에 일어날 수 있는 힘 또는 응력이 유리 내로 도입되는 것을 방지하기 위해, 플러그-인 접점(28)이 별개의 캐리어 플레이트(30) 상에 배열된다.캐리어 플레이트(30)는 가요성 케이블(32)에 의해 제어 장치(12)에 연결된다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012289 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | F04C-023/00,F04C-025/02 |
주제어 (키워드) |