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조합된 x-레이 및 광학 계측을 위한 모델 구축 및 분석 엔진

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2015-7002902
출원일자	2015-02-03
공개번호	20150409
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	견본의 구조적 파라미터는 조합된 분석에서 서로 다른 측정 기술에 의해 수집되는 측정결과를 견본의 응답 모델에 피팅함으로써 결정된다. 적어도 2개의 서로 다른 측정 기술에 대한 견본 응답의 모델은 적어도 하나의 공통 기하학 파라미터를 공유한다. 일부 실시예들에서, 모델 구축 및 분석 엔진은 적어도 하나의 공통 파라미터가 분석 동안 커플링되는 x-레이 및 광학 분석을 수행한다. 측정 데이터를 이용한 응답 모델의 피팅은 순차적으로, 병렬로 또는 순차적 및 병렬 분석의 조합에 의해 이루어질 수 있다. 추가적인 양상에서, 응답 모델의 구조는 모델과 대응하는 측정 데이터 간의 피트의 품질에 기초하여 변경된다. 예를 들어, 견본의 기하학 모델은 응답 모델과 대응하는 측정 데이터 간의 피트에 기초하여 재구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157002902
첨부파일

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