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플라즈마 시스템에서 사용되는 챔버 구성요소를 위한 표면 코팅

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기관명	NDSL
출원인	엔테그리스, 아이엔씨.
출원번호	10-2016-7016070
출원일자	2016-06-16
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원에서는 공격적인 (예를 들어, 플루오린-기재의) 플라즈마 환경에서 화학적 및 플라즈마 물리적 공격에 대해 강건하다는 이점을 갖는 플라즈마 구성요소를 위한 표면 코팅이 개시된다.코팅은 또한 다른 공지된 표면 처리에 비해 활성 산소, 질소, 플루오린 및 수소 종에 대한 낮은 플라즈마 표면 재결합 속도를 제공한다.코팅은, 석영, 알루미늄, 또는 애노드처리된 알루미늄과 같은 물질을 포함하지만 이로 제한되지 않는, 에칭 또는 플라즈마 세정을 필요로 하지 않는 임의의 플라즈마 시스템 구성요소에 적용될 수 있다.부가적으로, 비-반응성 코팅이 시스템 구성요소에 적용됨으로써 시스템의 플라즈마 챔버로의 여기된 플라즈마 종의 유동이 증가함으로써, 시스템의 효율이 증가한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016070
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