| 초록 |
구면-비점수차 광학 영역(40)을 측정하는 방법이며, a) 파면 생성 장치(10)에 의해 시험 파면으로서 구면-비점수차 파면을 생성하는 단계, b) 파면 생성 장치(10)와, 시험 파면이 구면-비점수차 표면(40)의 임의의 지점에서 실질적으로 수직 방향으로 충돌하는 방식으로 파면 생성 장치(10)에 대해 조정된 구면-비점수차 영역(40) 사이의 파면 수차를, 간섭 측정식으로 측정하는 단계로서, 복수의 측정이 실행되고, 복수의 측정에서 구면-비점수차 표면(40)은 다수의 위치에서 측정되고, 비점수차의 반경들의 두 개의 중심을 중심으로 구면화되고 그리고/또는 구면-비점수차 표면(40)의 수직 표면을 중심으로 180°만큼 회전되고, 이에 따라서 대응하는 인터페로그램 위상이 결정되는 단계, 및 c) 수학적 재구성 방법에 의해 파면 생성 장치(10)의 파면 및 구면-비점수차 영역(40)의 형상을 결정하는 단계로서, 구면-비점수차 영역(40)의 표면이 적절한 처리 방법을 사용하여 보정되는 단계를 포함하고, 단계 a) 내지 c)는 파면 수차가 규정된 임계값 미만일 때까지 반복된다. |
