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마이크로리소그래피 투영 노광 장치의 조명 시스템

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기관명	NDSL
출원인	칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
출원번호	10-2016-7016113
출원일자	2016-06-16
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	마이크로리소그래피 투영 노광 장치(10)의 조명 시스템은 공간적으로 분해되는 방식으로 충돌하는 광을 전달하거나 반사하는 공간 광 변조기(52) 상으로 광을 보내는 동공 형성 유닛(36)을 포함한다.오브젝티브(58)는 광학 적분기(60)의 광 입사 패싯(75) 상에 공간 광 변조기(52)의 광 출사 표면(57)을 이미징하므로 광 출사 표면(57) 상의 오브젝트 영역(110)의 이미지(110')는 광 입사 패싯 중 하나와 완전히 일치한다.동공 형성 유닛(36) 및 공간 광 변조기(52)가 제어되어서, 오브젝트 영역(110)은 동공 형성 유닛(36)에 의해 완전히 조명되며오브젝트 영역(110)의 지점과 관련된 투영 광은 광 입사 패싯(75)들 중 하나 상에 충돌하는 것으로부터 적어도 부분적으로 그리고 변화가능하게 방지된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016113
첨부파일

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