초록 |
게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극 및 칼코겐 화합물을 포함하는 반도체 채널을 포함하고, 상기 반도체 채널은 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 형성되는 채널 영역으로서 형성되고, 칼코겐 화합물과 바이오 물질과의 반응에 기인한 전기적 변화를 감지하는 방식에 의해 바이오 물질의 함량을 검출하고, 상기 바이오 물질이 극성 또는 전하를 갖는 항원 또는 극성 또는 전하를 갖는 항체이고, 상기 칼코겐 화합물은 MX 2 로 표시되고, M은 Mo이고, X는 S 또는 Se이고, 상기 바이오 물질이 직접 상기 칼코겐 화합물에 결합하거나, 또는 상기 바이오 물질이 표지 물질과 결합하여 상기 칼코겐 화합물에 결합하고, 상기 전기적 변화를 감지하는 방식은 FET (field effect transistor) 방식이고, 백투백-쇼트키 다이오드(back to back - Schottky diode)가 갖는 저항 성분에서 바이오 활성화에 따른 쇼트키 장벽(Schottky Barrier)의 변화를 통해, 정량적으로 항원을 감지하는 바이오 센서를 제공한다. |