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디자인 데이터를 사용하여 반도체 웨이퍼 상의 반복적인 결함을 검출하기 위한 방법 및 시스템

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7002556
출원일자	2016-01-28
공개번호	20160317
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	웨이퍼 상의 결함을 검출하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.일 방법은 웨이퍼를 위한 디자인 내의 취약 기하학적 구조의 모든 인스턴스의 위치를 결정하는 것을 포함한다.위치는 랜덤의 비주기적인 위치를 포함한다.취약 기하학적 구조는 디자인 내의 다른 특징부보다 결함이 발생하기 더 쉬운 하나 이상의 특징부를 포함한다.방법은 웨이퍼 검사 시스템으로 웨이퍼를 스캐닝하여 이에 의해웨이퍼 검사 시스템의 하나 이상의 검출기로 웨이퍼에 대한 출력을 발생하는 것을 또한 포함한다.게다가, 방법은 웨이퍼 상의 단일 다이 내의 취약 기하학적 구조의 2개 이상의 인스턴스에서 발생된 출력에 기초하여 취약 기하학적 구조의 적어도 하나의 인스턴스 내의 결함을 검출하는 것을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167002556
첨부파일

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