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자기 저항 효과 소자의 제조 방법 및 제조 시스템

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기관명	NDSL
출원인	캐논 아네르바 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7008946
출원일자	2016-04-05
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	자기 저항 효과 소자의 가일층의 미세화, 집적도 가일층의 증대를 실현함과 함께, 높은 자기 특성을 갖는 자기 저항 효과 소자를 제조할 수 있는 자기 저항 효과 소자의 제조 방법 및 제조 시스템을 제공한다.자기 저항 효과 소자의 제조 방법은, 기판(100) 상에, 2개의 자성층 중 한쪽의 층(103)과, 터널 장벽층을 구성하는 층(104)과, 2개의 자성층 중 다른 쪽의 층(105)을 구비한 적층체를 준비하는 공정(S121)과, 상기 적층체를 에칭에 의해 복수로 분리하고, 상기 기판 상에 분리된 복수의 적층체를 형성하는 공정(S122)과, 상기 분리된 복수의 적층체의 측부에 감압 가능한 처리 챔버(501) 내에서 이온 빔을 조사하는 공정(S123)과, 상기 이온 빔의 조사 후, 상기 처리 챔버 내에 산화성 가스 또는 질화성 가스를 도입하고, 상기 복수의 적층체의 표면에 산화층 또는 질화층을 형성하는 공정(S124)을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008946
첨부파일

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