| 초록 |
Al 함유량이 1 ∼ 23 at%, 산소 함유량이 100 wtppm 이하, 잔여가 Fe 및 불가피적 불순물인 것을 특징으로 하는 Fe-Al 합금 스퍼터링 타깃. Al 이 1 ∼ 23 at%, 잔여가 Fe 및 불가피적 불순물인 Fe 원료 및 Al 원료를, 용해 온도를 1200 ∼ 1600 ℃, 평균 승온 속도를 300 ℃/시 이상으로 하여 용해시키고 (단, Al 이 15 ∼ 23 at% 인 경우에는, 용해 온도를 1400 ∼ 1600 ℃ 의 범위에서, 또한 평균 승온 속도를 320 ℃ 이상으로 하거나, 또는 용해 온도를 1200 ℃ ∼ 1400 ℃미만에서 용해시킨다. Al 이 1 ∼ 15 %, 또한 Ar 분위기에서 용해시키는 경우에는, 용해 온도를 1200 ∼ 1600 ℃ 의 범위에서, 평균 승온 속도를 300 ℃/시 이상으로 한다. Al 이 1 ∼ 15 %, 또한 대기 분위기에서 용해시키는 경우에는, 용해 온도를 1200 ∼ 1600 ℃ 의 범위에서, 평균 승온 속도를 320 ℃/시 이상으로 한다.), 이것을 주조한 후에, 압연 및 기계 가공한다. |
