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원격 음극액 유체 관리 기능이 있는 전기화학적 퇴적 장치

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기관명	NDSL
출원인	텔 넥스 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7015328
출원일자	2016-06-09
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	여기에서 설명하는 기술은 효율적인 순환 시스템, 신뢰성있고 균일한 도금을 제공하는 화학물질 관리, 및 짧은 유지관리 시간 및 더 큰 툴 가용성을 제공하는 구성을 제공하는 전기화학적 퇴적 장치를 포함한다. 이 기술은 양극액 유체를 내포한 처리 탱크, 및 분리된, 즉 원격의 음극액 저장소에 연결된 순환로를 가진 음극액 유체 격실을 각각 구비한 하나 이상의 도금 셀을 포함한다. 따라서, 이러한 구성에서는 하나 이상의 도금 셀을 통하여 (매니폴드를 거쳐) 음극액을 유동시키기 위해 단일 펌프를 사용할 수 있다. 따라서 오프보드로 유지되는 음극액 저장소에서는 둑을 넘쳐 흐른 음극액을 저장소에 붓는 대신에, 음극액 유체가 도금 셀을 통해 흐른 후에 음극액 저장소로 복귀된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015328
첨부파일

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