| 초록 |
본 발명은 중이온 가속기에 사용되는 고주파 가속관의 제조 공정 중 상기 고주파 가속관의 화학 연마를 통해 오일 등 금속 표면의 이물질을 제거하며 전자빔 접합이 용이하고, 금속 표면의 거칠기를 조절할 수 있는 화학 연마액 및 화학 연마 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 화학 연마액은 인산 45 ~ 55 중량%, 불산 20 ~ 30 중량% 및 질산 20 ~ 30 중량부를 혼합하여 이루어진 것을 특징으로 하고, 상기 연마액을 이용한 화학 연마 방법은 고주파 가속관 표면의 오일 및 이물질을 제거하는 1차 탈지단계; 상기 1차 탈지단계를 수행한 상기 고주파 가속관을 건조하는 1차 건조단계; 상기 1차 건조된 고주파 가속관을 계면활성제 용액에 침지하여 상기 고주파 가속관 표면의 얼룩 및 오염물을 제거하는 2차 탈지단계; 상기 2차 탈지된 상기 고주파 가속관을 화학 연마액에 침지하여 화학 연마를 수행하는 화학 연마단계; 상기 화학 연마단계에서 상기 고주파 가속관 표면에 부착된 상기 화학 연마액을 제거하는 세정단계; 상기 세정단계를 수행한 상기 고주파 가속관을 건조하는 2차 건조단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
