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극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공대상을 변성시키는 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	레이저닉스 주식회사
출원번호	10-2018-0068632
출원일자	2018-06-15
공개번호	20180712
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 가공대상을 로딩하기 위한 스테이지; 극초단 펄스 레이저 빔을 생성하는 레이저 소스 및 상기 레이저 소스로부터 생성된 레이저 빔을 상기 스테이지 상에 로딩된 가공대상에 조사시키기 위한 광학계를 포함하는 레이저 빔 조사장치; 가공대상에 적합한 극초단 펄스 레이저 빔을 생성시키기 위한 레이저 가공조건 및 가공대상의 3차원 공간 좌표를 설정가능한 레이저 빔 제어부; 및 상기 펄스 레이저 빔 조사에 따른 가공 대상의 표면을 관찰가능한 주사전자현미경;을 포함하는, 극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공대상의 표면 또는 내부를 변성시키는 가공장치, 및 이를 이용하여 극초단 펄스 레이저 빔을 이용해 가공대상의 적어도 일부를 절단 또는 표면처리하여 변성시키는 방법에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020180068632
첨부파일

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