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선택적 퇴적 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.
출원번호	10-2016-0013126
출원일자	2016-02-02
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판의 표면을 상이한 제 2 표면에 대하여 선택적으로 퇴적시키기 위한 방법들이 제공된다.예시적인 퇴적 방법은 니켈, 니켈 질화물, 코발트, 철, 및/또는 티타늄 산화물을 포함하는 물질과 같은 물질을, H-종결된 표면과 같은 상이한 제 2 표면에 대하여 동일한 기판의 SiO 2 표면과 같은 제 1 표면 위에 선택적으로 퇴적시키는 단계를 포함할 수 있다. 방법들은 퇴적에 앞서 H-종결들을 제공하기 위해 기판의 표면을 처리하는 단계를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160013126
첨부파일

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