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음향 변조기 및 변조 원리를 위한 드라이버

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기관명	NDSL
출원인	마이크로닉 마이데이타 에이비
출원번호	10-2015-7029856
출원일자	2015-10-15
공개번호	20151126
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	음향 변조기에 공급되는 변조기 RF의 순시 값들을 계산하는 수치 변조기를 갖는 디바이스들, 예를 들어, 대형 포토마스크들의 매우 정확한 패터닝을 위한 레이저 기록기가 개시된다.추가적인 개선들은, 음향광학 변조기에서 RF 전력 분산들을 감소시킴으로써 위상 제어 및 감소된 에러들에 의한 증가된 해상도를 허용한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157029856
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