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측방향 하드마스크 리세스 감소를 위한 하이브리드 탄소 하드마스크

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2018-7023845
출원일자	2018-08-20
공개번호	20180906
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시내용의 구현들은, 기판들의 패터닝 및 식각을 위한 개선된 하드마스크 재료들 및 방법들에 관한 것이다.복수의 하드마스크들은, 진보된 디바이스 아키텍쳐들을 가능하게 하기 위해, 패터닝 및 식각 프로세스들과 조합하여 활용될 수 있다.일 구현에서, 제1 하드마스크 및 제2 하드마스크는 기판 ― 기판은, 기판 상에 배치된 다양한 재료 층들을 가짐 ― 상에 배치된다.제2 하드마스크는, 제1 식각 프로세스 동안 제1 하드마스크를 패터닝하는 데에 활용될 수 있다.제3 하드마스크는 제1 및 제2 하드마스크들 위에 증착될 수 있고, 제2 식각 프로세스는, 재료 층들에 채널들을 형성하는 데에 활용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187023845
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