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임프린트 방법, 임프린트 장치, 몰드 및, 물품 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2015-0153599
출원일자	2015-11-03
공개번호	20160526
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판에 도포된 미경화 수지를 몰드 상에 형성된 패턴부에 의해 성형하고 미경화 수지를 경화하여 기판 상에 경화된 수지 패턴을 형성하는 임프린트 방법이 제공된다.임프린트 방법은 수지 경화 이후 패턴부가 수지로부터 박리되는 경계부가 직선이라고 상정하는 것에 기초하여 박리를 진행하기 위해 평행 상태를 유지하면서 두 개의 대향된 경계부가 서로 근접하도록 패턴부를 수지로부터 분리하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150153599
첨부파일

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