| 기업공감원스톱서비스

파이버 어레이 라인 발생기

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7018550
출원일자	2016-07-11
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 명세서에 설명된 실시예들은 기판들의 급속 열 처리에 관한 것이다.기판의 표면 상에 균일한 복사조도 패턴을 발생시키도록 구성된 광학 시스템 내에 파이버 결합된 레이저 다이오드 어레이가 제공된다.복수의 개별적으로 제어가능한 레이저 다이오드가 복수의 파이버를 통해 하나 이상의 렌즈에 광학적으로 결합된다.파이버 결합된 레이저 다이오드 어레이는 균일한 강도의 이미지를 발생시키기 위해 렌즈들에 의해 디포커싱되는 가우시안 복사 프로파일을 발생시킨다.일 실시예에서, 시야 조리개가 광학 시스템 내에 배치된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018550
첨부파일

기업조회