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최적화된 구조화 표면 및 최적화 방법

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기관명	NDSL
출원인	토소우 에스엠디, 인크
출원번호	10-2016-7012938
출원일자	2016-05-17
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	증착 입자들의 부착 및 유지를 개선하기 위하여 스퍼터 타겟들의 구조화 표면들을 처리하기 위한 방법이 개시된다. 타겟 표면은 먼저 비드 블라스팅, 그릿 블라스팅, 플라즈마 스프레잉, 트윈-와이어 아크 스프레잉(TWAS) 방법과 같은 전구체 구조화 방법에 의해서 구조화될 수 있다. 그에 따라 구조화된 표면은 그 다음 최적화된 구조화 표면을 형성하기 위하여 얼음 입자들로 스프레잉 또는 블라스팅된다. 얼음 입자들은 동결 이산화탄소 또는 건식 얼음과 같은 승화성 입자들을 포함할 수 있다. 또한, 아르곤은 예시적인 얼음 입자들로서 사용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012938
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