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주입 빔 및 소스 수명 성능 개선을 위한 탄소 도판트 기체 및 동축류

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기관명	NDSL
출원인	어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
출원번호	10-2014-7025467
출원일자	2014-09-12
공개번호	20141121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	탄소 도판스 소스 물질을 사용하여 탄소 도핑을 수행하는 이온 주입 공정 및 시스템이 기재된다.이러한 탄소 도핑을 위하여 탄소 도판트 소스 물질을 포함하는 다양한 기체 혼합물뿐만 아니라 기체의 동축류 조합이 기재된다.탄소 도판트 소스 물질중 동일 반응계 내 세정제의 제공뿐만 아니라 탄소 도판트 소스 기체, 하이드라이드 기체, 플루오라이드 기체, 불활성 기체, 옥사이드 기체 및 다른 기체의 특정 조합도 기재된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147025467
첨부파일

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