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특허/실용신안

레이저 회절빔의 필라멘테이션을 이용한 취성 소재 가공을 위한 레이저 가공 장치

특허 실용신안 개요

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기관명 NDSL
출원인 전상욱
출원번호 20-2016-0002387
출원일자 2016-05-02
공개번호 20160603
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUUM
초록 본 고안은 레이저 회절빔의 필라멘테이션을 이용한 취성 소재 가공을 위한 레이저 가공 장치로서, 초단파 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부; 상기 레이저 발생부로부터 전파되는 레이저 빔을 회절시켜 직교하는 단면상으로 링 형태의 레이저 회절빔을 형성시키는 제1 광학계; 상기 레이저 회절빔을 수렴 또는 확산시켜 상기 레이저 회절빔의 길이를 조절하는 제2 광학계; 및 길이가 조절된 상기 레이저 회절빔을 집속하면서 가공할 취성소재의 상부 공기층 상에서 초점을 형성시켜 상기 취성소재로 입사시키는 제3 광학계를 포함하며, 상기 레이저 회절빔에 의한 상기 취성소재 내부에서의 필라멘테이션을 이용하여 상기 취성소재를 가공하는 것을 특징으로 하는 취성 소재 가공을 위한 레이저 가공 장치이며, 이와 같은 본 고안에 의하면 레이저 회절빔의 필라멘테이션을 이용하여 취성 소재 가공함으로써 가공면이 매끄럽고 크랙이 발생되지 않도록 취성 소재의 가공이 가능하게 한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUUM&cn=KOR2020160002387
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE C03B-033/02,C03B-033/023,C03B-033/037,B23K-103/00
주제어 (키워드)