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란탄족 함유 전구체의 제조 및 란탄족 함유 필름의 증착 방법

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기관명	NDSL
출원인	레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
출원번호	10-2016-7017173
출원일자	2016-06-27
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원에는 희토류 금속 함유 층을 증착하기 위한 방법 및 조성물이 기술되어 있다.일반적으로, 개시된 방법은 증착 방법, 예를 들어 화학 기상 증착법 또는 원자층 증착법을 사용하여 희토류 함유 화합물을 포함하는 전구체 화합물을 증착한다.개시된 전구체 화합물은 치환기로서 1종 이상의 지방족 기를 갖는 시클로펜타디에닐 리간드 및 아미딘 리간드를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017173
첨부파일

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