| 초록 |
{기술분야} 본 발명에서는 Ga 액체이온소스, 이온빔 추출전극, 이온빔 서프레스 전극, 어퍼처, 및 Einzel 렌즈 구조의 컨덴서 렌즈 및 오브젝티브 렌즈로 구성된 집속이온빔 컬럼과 5축 나노스테이지로 구성된 집속이온빔 장비를 이용하여 DNA 나노유체 채널을 제작하는 것을 특징으로 한다. { 해결하고자하는 과제} 기존의 펨토세컨드 레이저를 이용한 미세유체 채널폭은 주로 수십-수백 마이크로미터 대역으로 100nm 급 혹은 이 이하의 폭을 갖는 DNA 분자 해석을 위한 나노 유체 채널 제작을 할 수 없는 한계가 있다.또 기존 집속이온빔 장비의 경우 주로 디바이스 분석용으로 최적화 되어있어, 다양한 나노채널 제작을 위한 공정최적화가 미흡한 실정이다. {과제의 해결수단} 집속이온빔 장비를 이용한 grating 패너팅하는 공정최적화를 함에 있어서, 이온빔 안정화를 위한 갈륨액체이온빔 소스의 안정한 빔전류 발생, Faraday cup의 전류를 고정한 상태에서 이온빔 추출전극 및 이온빔 서프레서 전극의 전압 자동조절 시스템, 이온빔 정렬 및 나노스테이지의 미세진동 배제기술을 통해 다양한 형태의 바이오칩 나노홀을 제작한다. {효과} 일정한 프로브 전류를 유지함과 동시에 시편표면의 선명한 영상과 일정간격의 밀링폭을 갖는 다양한 크기의 나노채널을 가공 제작할 수 있다.본 정밀 가공은 가변어퍼처, 나노스테이지, 이온빔 전류의 자동집속시스템, 나노스테이지 및 패턴제너레이터의 소프트웨어 개발을 통해서 구현된다 |
