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도포, 현상 장치, 도포, 현상 방법 및 기억 매체

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-0058239
출원일자	2016-05-12
공개번호	20160526
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 소수화 처리 모듈 또는 도포막 형성용의 단위 블록에 이상이 발생하거나, 메인터넌스를 행할 때에 도포, 현상 장치의 가동 효율의 저하를 억제할 수 있고, 기판의 반송 수단의 동작의 복잡화를 방지하는 기술을 제공하는 것이다.서로 동일한 도포막이 형성되는 N중화된 도포용의 단위 블록과, 상기 캐리어 블록과 처리 블록 사이의 승강 반송 블록에 있어서, 상기 도포막을 형성하기 전의 기판에 대해 소수화 처리하기 위한 N그룹의 소수화 모듈과, 상기 N그룹의 소수화 모듈로부터 각각 대응하는 도포용의 단위 블록에 기판을 전달하도록 제어되는 전달 기구를 구비하도록 도포, 현상 장치를 구성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160058239
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