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한정된 처리 체임버들을 구비한 다중 전극 플라스마 처리 시스템 및 상기 전극을 구비한 내부 버스 전기 접속

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기관명	NDSL
출원인	노드슨 코포레이션
출원번호	10-2016-0096261
출원일자	2016-07-28
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	소스 가스로부터 발생된 플라스마를 갖는 제품들을 처리하기 위한 장치가 제공된다.상기 장치는 진공 체임버, 상기 진공 체임버 내부의 인접 쌍에 배치된 복수의 병치된 전극들, 및 상기 플라스마와 전기적으로 접속된 플라스마 여자 소스를 포함한다.상기 장치는 상기 플라스마 여자 소스와 각각 전기 접속부를 형성하기 위해 각각의 전극의 내부로 연장하는 전도성 부재들을 포함할 수 있다.상기 장치는 가스 분배 다기관 및 상기 가스 분배 다기관에 결속된 다중 가스 전달 튜브를 포함할 수 있다.각각의 가스 전달 튜브는 전극들의 인접 쌍 각각 사이로 상기 소스 가스를 분사하도록 구성된 분사 포트를 갖는다.상기 장치는 상기 전극들의 인접 쌍들 각각 사이의 주변 갭을 부분적으로 차단하도록 작동하는 유동 제한 부재를 추가로 포함하며, 또한 상기 유동 제한 부재들 각각은 상기 전극들의 인접 쌍들 각각 사이의 상기 처리 체임버로부터 상기 소스 가스가 방출하는 것을 방지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160096261
첨부파일

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