| 초록 |
본 발명은 반도체공정 모니터링에 사용되는 센서 장착 웨이퍼 기술에 있어서, 특히 센서 장착 웨이퍼의 센싱 정보에 대한 신뢰성을 보장해 주는 센서 장착 웨이퍼의 온도 보정 시스템에 관한 것으로, 온도센서가 구비된 센서 장착 웨이퍼를 보관하기 위한 보관 장치와, 상기 보관 장치와 연동하여 상기 센서 장착 웨이퍼의 상기 온도센서가 공정 중에 챔버 내에서 센싱한 온도 값을 보정하는 제어스테이션으로 구성되되, 상기 보관 장치는 상기 센서 장착 웨이퍼가 보관 중인 내부로 열을 발생시키는 히터와, 상기 히터의 발열 온도를 가변 제어하기 위한 제어명령을 상기 제어스테이션으로부터 수신하고 상기 센서 장착 웨이퍼의 상기 온도센서가 센싱한 온도 값을 상기 센서 장착 웨이퍼로부터 수신하여 상기 제어스테이션에 전달하는 제1통신모듈을 구비하고, 상기 제어스테이션은 상기 제1통신모듈과 통신하는 제2통신모듈을 구비하고, 상기 히터의 발열 온도를 제어함에 따라 설정되는 기준 온도 값과 상기 센서 장착 웨이퍼의 상기 온도센서가 상기 히터로부터 발생된 열을 센싱한 온도 값의 오차를 상기 온도센서의 온도 보정 값으로 설정하고, 상기 설정된 온도 보정 값을 사용하여 상기 온도센서가 공정 중에 챔버 내에서 센싱한 온도 값을 보정하는 것이 특징이다. |
